メンブレン駆動マイクロポンプのプロトタイプと性能評価

抄録

これまで、エタノールを加熱及び冷却してマイクロバブルを発生・収縮させ、メンブレンを介して流体を駆動するマイクロポンプの動作原理を検証してきた。本報では、構造体をシリコン、メンブレンにPDMS、マイクロヒーターにクロム及び金を用いたプロトタイプの設計と試作を示し、併せて、その圧力・流量特性を実験的ならびにコベンターによるシミュレーションにより評価した。