精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会春季大会
セッションID: G21
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レーザトラップを用いた局所的電気泳動堆積法による微細構造物作製への応用
*鈴木 淳志加地 正幸佐々木 彰中尾 秀信岩田 太
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抄録
レーザトラップは液中で操作を行うために、対象物の固定が困難である。前回までに我々は、レーザトラップと微粒子の帯電を利用した電気泳動堆積法を用いた微粒子の局所的堆積による固定方法について報告した。今回その応用として、ガラス基板上や光導電性ポリマー上での電子配線の作製や立体構造の作製について報告する。
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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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