表面の微弱導電性を考慮した微小誘電体のマニピュレーション

抄録

サブミクロンオーダーの寸法を持つ微小物体を対象とした、再現性の高い操作技術の確立に向けて、シングルプローブを用いた電界制御による静電マニピュレーション手法が提案されてきた。これは従来導体のみを対象として来たが、物体表面の微弱な導電性を考慮することで誘電体にも適用可能であると示唆されている。本研究では微小誘電体の帯電メカニズムのモデルを構築し、静電マニピュレーションの可能性を議論する。