走査電子顕微鏡観察下における微小誘電体帯電モデルとその定量的検証

抄録

走査電子顕微鏡内で静電的手法を用いて微小物体を操作するために、電子線による帯電を利用する方法が提案されている。その実現のためには微小誘電体の帯電現象をモデル化する必要があるが、過去の帯電理論では対象のサイズが帯電量に与える影響を十分に説明し切れていなかった。本研究では電子線の侵入深さを考慮した帯電モデルを構築し、高分子薄膜の電子線による帯電実験により定量的な検証を行う。