電子ビーム加熱によるカーボンナノチューブの生成

抄録

カーボンナノチューブ(CNT)の生成方法のひとつであるアルコール触媒CVD法において、電子ビーム(EB)を用いて加熱した場合のCNT生成可能性について検討した。CNTの応用に向けて、生成場所、方向、長さ、カイラリティの制御が課題となっているが、本研究では、EBを用いた局所加熱による場所の制御を目標としている。EBによるCNT生成可能性検討のため、蒸着用電子ビームを用いてCNTの生成を試みた。