光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発

光学的解析

抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器などの微細加工技術の進歩に伴い，微細穴などの細かい幾何形状を測定する重要性は増加している．そこで，微細径の光ファイバプローブを用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では、幾何光線追跡シミュレーションを用いた光学系設計パラメータの最適化について検討した。