無電解めっきダイヤモンド工具によるシリコンへのマイクロ穴加工

抄録

無電解めっきダイヤモンド工具を用いてシリコンにマイクロ穴をあける方法について検討した。ステップ送りによる穴加工、ヘリカル穴加工および超音波振動穴加工を試みた。その結果、工具寿命の点からヘリカル穴加工の有効性が示された。