マイクロ超音波加工法における電気粘性流体援用の効果

抄録

マイクロ超音波加工法とは，工作物と超音波振動する微小工具の間にスラリを塗布し，砥粒を介した微小脆性破壊の累積により加工を進展させる方法である．本研究では，硬質脆性材料に対する微細加工の高精度化・高能率化を目的として，電気粘性流体援用マイクロ超音波加工法を提案してきた．本報では，加工領域における砥粒の挙動を観察することにより，電気粘性流体援用の効果について詳細な検討を行う．