MEMSデバイスの接合部における履歴減衰の最小化に関する研究

抄録

圧電型MEMSセンサにおける高変換効率化の実現のためには、振動部の損失の減少が重要である。特に振動体を接合によって支持する構造では、支持部減衰が問題となる。支持部減衰には履歴減衰や逸散減衰等があるが、本報告では特に履歴減衰に着目し、これを最小化するための種々の接合条件を検討し、接合材料の応力－ひずみ曲線におけるヤング率や降伏点と，履歴減衰の関係について考察した。