パリレンフィルムを用いた送受兼用可能なアレイ型MEMS超音波センサの開発

抄録

本研究では空気中の超音波パルスによる送受兼用可能なアレイ型超音波センサの開発を提案する。そのデバイスはパリレン用いたコンデンサ型マイクロ構造である。超音波を発生させることができ、高分子膜パリレンにより脆性が少なく柔軟性を備えているので高感度が実現される。隣接した各々の構造体に遅延時間の制御を行うことで送受信の指向性の制御が可能になる。