高機能マイクロデバイスの開発(第四報) PC/CNTナノコンポジットフィルムのマイクロ・ナノインプリント

目黒 武; 松本 康弘; 宋 星武; 杉本 公一; 花岡 正樹; 河部 繁; 尾坂 一

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.639.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: H16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.639.0

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主催: 社団法人精密工学会

高機能マイクロデバイスの開発(第四報)

PC/CNTナノコンポジットフィルムのマイクロ・ナノインプリント

*目黒武, 松本康弘, 宋星武, 杉本公一, 花岡正樹, 河部繁, 尾坂一

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キーワード: CNT, ナノコンポジットフィルム, ナノインプリント, ホットエンボス

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抄録

MEMS分野で期待される高機能マイクロデバイスを開発することを目的として，最大20wt%のカーボンナノチューブ（CNT）を添加し，かつその配向を制御したPC/CNTコンポジットフィルムを作製するとともに，一辺10μmのV溝を用いてフィルムへのマイクロ・ナノインプリントを行った．そのコンポジットフィルムの優れた形状転写性がSEM観察，三次元形状測定などから評価された．

責任著者(Corresponding author)

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