精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会春季大会
セッションID: J06
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超微細塑性加工によるガラスの透過率の制御
吉野 雅彦*吉澤 文一
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抄録
ナイフエッジ型のダイヤモンド工具の押込みによってガラスに周期的な三角形断面の微細溝列を作製した.深さ80nmから120nm,周期250nmから5μmの加工条件で試料を作製し,分光光度計によって光の波長に対する透過率を測定した.深さの増大によって透過率が増加し,構造周期によって光の透過率が増加する波長域が変化するという特性が得られた.構造の最適化によって平面よりも高い透過率が得られることが分かった.
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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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