フィールドエミッションディスプレイのための通電加熱による酸化タングステンナノワイヤの生成

抄録

本研究では、通電加熱によってタングステンナノワイヤを多点同時局所生成させることを試みる。酸化タングステンナノワイヤはスパッタタングステン膜を希薄酸素下で加熱することで生成するナノ材料である。フィールドエミッション素子を作成する実用的な手法として、タングステン薄膜をパターニングし、通電加熱によって酸化タングステンナノワイヤを多点同時局所生成させる。