斜入射スパッタリング法による特異なナノ構造を有する薄膜の作製

抄録

基板法線から傾いた方向から蒸着粒子を入射して薄膜成長させると、傾斜したコラム構造が発達することはよく知られている。我々は、これまでに斜入射薄膜形成に基板の面内回転運動を加えると、ジグザグ状やらせん状のナノ構造を持つ薄膜が成長可能であることを示してきた。本研究では、成膜中に基板傾斜角度も変化させ得るステージを用いて、より複雑なナノオーダーのコラム構造を持つ薄膜の成長を試みた。