高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

抄録

近年、様々な技術の発展で、X線を50nm以下に集光可能なX線ミラーの作製が可能となっている。また，X線分析の精度向上のため、微小集光だけでなくX線の高密度化も望まれている．そこで、我々は２枚の楕円ミラーを並列に組み合わせた並列型Kirkpatrick-Baez(SSKB)ミラー光学系を開発し，X線ナノビームの高密度化を目指している。本発表ではSSKB光学系の実用化に向け行った検討の結果を報告する。