ナノインプリント技術を用いた表面性状標準の複製

山口 晋均; 柳 和久; 田中 秀岳; 山岡 正英; 吉田 一朗

doi:10.11522/pscjspe.2009A.0.17.0

2009年度精密工学会秋季大会

セッションID: A10

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009A.0.17.0

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主催: 社団法人精密工学会

ナノインプリント技術を用いた表面性状標準の複製

*山口晋均, 柳和久, 田中秀岳, 山岡正英, 吉田一朗

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キーワード: ナノインプリント, 表面性状標準, 超精密加工機, 複製, 測定機, 集束イオンビーム

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抄録

本研究は，微細領域の表面形状測定機を校正及び性能検証を目的とした表面性状標準の複製を行う．表面性状標準片を切削加工により安価で供給することは困難である．そこで，数十nmのパターン形成を可能とするナノインプリント技術を用いて，超精密加工機及びFIB加工機で製作した表面性状標準の複製を行った．また，ナノインプリントの条件の違いによる転写精度の比較検討も行った結果，十分な転写精度が得られたので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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