N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの３次元形状の作製

抄録

シリコン表面にN-フルオロピリジニウム塩を液状で塗布し、光を照射することにより選択的にエッチングを行うことができる。このエッチングは光の強度や照射時間に依存しており、これらのパラメータを変えることで任意の３次元形状を作製できると期待される。本研究では、任意の３次元形状作製の第一歩としてステップ形状の形成を試みた。