多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発

減圧電析法の検討とミラーへの応用

抄録

最先端の光学系に用いられるミラーデバイスを安価に大量生産するために開発を進めてきた多孔質裏打ち電鋳法に関して、新たな方法を導入し、また本プロセスの応用について検討した。概要としては、定期的な減圧により水素ガスを除去する減圧電析法を考案し、投入電流の増加にともなう電析時間の短縮と再現性の向上を図った。また、曲面ミラーの転写による作製について報告する。