微細構造成形のための高粘度スラリーの充填挙動解析

星野 博昭; 川元 康裕; 濱口 哲也; 中尾 政之

doi:10.11522/pscjspe.2009A.0.407.0

2009年度精密工学会秋季大会

セッションID: F31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009A.0.407.0

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主催: 社団法人精密工学会

微細構造成形のための高粘度スラリーの充填挙動解析

*星野博昭, 川元康裕, 濱口哲也, 中尾政之

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キーワード: セラミックススラリー, キャスティング法, 挙動解析, 微細構造

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抄録

セラミックススラリーをキャスティング法により充填し，予備配線や複雑形状部品を包含するシートを成形することが提案されている．キャスティング法確立のため，幅数十マイクロメートルの流路を流れる高粘度かつ非ニュートン流体であるスラリーの挙動を解析した．結果，スラリーの前進接触角が90度以上であり速度依存性が無いこと，壁面付近ではスラリーが付着・滞留する層が存在することを示した．

責任著者(Corresponding author)

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