遠赤外線光学素子へのSWSインプリントの検討

抄録

遠赤外線材料は屈折率が高くフレネル反射が著しく大きいため、反射防止対策が不可欠である。本研究では遠赤外線透過ガラスにサブ波長構造をインプリントし、反射防止機能を付与することを検討した。FDTDシミュレーションで設計した反射防止構造をパターニングした結果、遠赤外線で一定の反射防止機能を有することを確認した。