位相シフトシアリング干渉計による微小径レンズ評価の試み

抄録

位相シフトシアリング干渉計による微小径レンズの評価手法の試みについて報告する。シアリング干渉法は外乱に対し頑強であり、また、原器が不要であるなどの特徴から実用的干渉計である。前報までにレンズからの反射光と透過光を同軸上で計測することが可能なレンズ評価装置の開発を行った。本報ではこれを用いて実際の微小径レンズの形状、収差、偏心の評価や微小球体の形状評価などについて報告する。