加工誤差を含む非球面光学素子の長田パッチによる形状表現

抄録

本研究の目的は、加工誤差を含む非球面光学素子の長田パッチによる形状表現を行い、非球面形状の精密測定結果を形状補正加工や光学機能評価シミュレーションに応用することである。これまでの研究成果により、ナノメートル精度の非球面形状を表現し、光線追跡シミュレーションを行えることが確認されている。本講演では、本手法による中間周波数帯の形状誤差を含む形状表現について報告する。