金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形（第２報）

鈴木 浩文; 町田 一道; 牧野 俊清; 向畑 大輔; 柴坂 敏郎

doi:10.11522/pscjspe.2009A.0.55.0

2009年度精密工学会秋季大会

セッションID: A63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009A.0.55.0

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主催: 社団法人精密工学会

金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形（第２報）

*鈴木浩文, 町田一道, 牧野俊清, 向畑大輔, 柴坂敏郎

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キーワード: 精密成形, 金属ガラス, マイクロ部品

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抄録

LSIは製造過程においてICプローブにより電気特性を検査するが，近年，LSIの微細化・高集積化により電極パッドは狭ピッチ化し，そのためICプローブにも微細化と狭ピッチ化が必要となっている．より微細なICプローブを開発するために，本研究では金属ガラスに着目し，金型の切削加工，放電加工による転写と，金属ガラスのガラスプレスなどのプロセスを複合化し，微細部品の創成を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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