精密工学会学術講演会講演論文集
2009年度精密工学会秋季大会
セッションID: A05
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レーザー・集束イオンビーム複合加工に関する研究(第5報)
集束イオンビームによる補正加工
*江口 穫正山岸 光若林 優治小口 京吾尾坂 一上条 和之斉藤 靖
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抄録
サブミクロンの分解能を持つ計測器をレーザー・集束イオンビーム複合加工機上に搭載することにより、レーザー加工後の計測結果と目標形状との差を集束イオンビームで補正加工する技術を開発し、マイクロレンズ金型の加工実験を行った。その結果、従来のレーザー加工、集束イオンビーム加工と比較して高精度化、高速化が可能となった。
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© 2009 公益社団法人 精密工学会
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