PSD（位置検出素子）を用いた主軸変位のモニタリングと工具位置制御

抄録

外力および熱変位を総合した主軸変位を，主軸から離れた位置に設置したPSDを用いて，リアルタイムでモニタリングしている．その情報を元に，リアルタイムで工具位置を制御する実験を行った．