PSD（位置検出素子）を用いた移動体運動のローリング，ヨーイング，ピッチング，真直度の同時測定

抄録

PSDを用い，工作機械のテーブル，サドル，コラムなどの運動における，ローリング，ヨーイング，ピッチング，真直度を同時に測定する方法について，理論的・実験的に解析した．基準となるレーザー測定システムの結果にほぼ一致する結果を得た．