主催: 社団法人精密工学会
東レエンジニアリング エレクトロニクス事業本部 開発センター
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キャリア縞導入方式の3波長ワンショット干渉計測には、干渉縞の正確な周波数推定が重要である。我々は、位相勾配を利用した2次元周波数推定法を提案する。この方法では、仮定した周波数を持つモデル画像を対象画像に局所的にフィッティングし、得られた位相マップの勾配から周波数誤差を求める。高速、かつ高精度の推定が可能なことを、計算機実験、および実画像を対象とした実験で確認した。
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