導電性ダイヤモンドの高速摺動研磨

第1報：通電加熱援用高速摺動研磨法の提案

抄録

著者らは、ダイヤモンド試料と金属製円盤との高速・高圧摺動による熱化学反応を利用した高速摺動研磨法を提案し、ダイヤモンド試料を砥粒レスで極めて高能率に研磨できることを明らかにしてきた。しかしながら、大研磨面積への対応およびダイヤモンド膜への適用に関しては押付け圧力に課題が残されていた。本研究では、導電性CVDダイヤモンド厚膜を対象に、ダイヤモンド試料と金属製円盤との間で通電させながら砥粒レス研磨を行う通電高速摺動研磨法を提案し、その研磨特性を調べた。