無電解ニッケルメッキの超精密切削と加工性評価

抄録

近年，導光板やレンズアレイ，回折格子のような微細かつ複雑な形状を有する光学素子の需要が大きくなっている．そのような光学素子の多くは無電解ニッケルメッキ金型を用いて加工されている．無電解ニッケルメッキは，熱処理を施すことによりアモルファスから多結晶化する．その結果，物性値が大きく変化し，加工性が大きく変化する．また，メッキ中に含有するリン濃度も加工性に影響する．本研究では，結晶状態およびリン濃度の異なるニッケルメッキを超精密旋削により鏡面加工し，その加工性評価を試みた．