大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウエハの厚み修正加工

加工精度に影響を及ぼす要因の考察

抄録

大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウエハの厚み均一化プロセスの開発において、現在設定加工量との誤差が10%程度あるため、10nm以内の均一性を達成するには不十分である。加工精度の低下要因としてプラズマからの熱流入による電極の熱膨張、試料台上に形成した溶射膜厚さの不均一性、アルミ合金製電極表面におけるフッ化膜と酸化膜の生成およびその剥離等が考えられ、これらの要因を詳細に検討した。