数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製

中性子集光用楕円面ミラーの作製 第IV報

抄録

現在、日本原子力研究開発機構の研究用原子炉JRR-3Mや大強度陽子加速器施設であるJ-PARC等の中性子源施設では、形状精度がナノメータレベルの中性子光学素子が要求されている。本報では、我々が開発したNC-LWE法により試作した中性子集光用楕円面ミラーの形状精度と表面粗さの評価、ならびにNiC/Ti多層膜スーパーミラー成膜後、JRR-3M-SUIRENにて行った集光性能の評価について述べる。