数値制御ローカルウエットエッチングによるヨハンソン型二重湾曲分光結晶の加工

抄録

微小部の高感度蛍光X線分析のためには、X線を単色化、集光することが必要である。単色化と集光を同時に実現する素子の一種として、ヨハンソン型の二重湾曲分光結晶があげられる。本素子の加工法として、化学反応により結晶性を乱すことなく形状創成が可能な数値制御ローカルウエットエッチング(NC-LWE)を提案した。本報では、試作したSi(111)分光結晶の加工方法、形状精度、および分光結晶としての性能を報告する。