複合粒子研磨法における加工特性の特異現象の解明

抄録

筆者らは複合粒子研磨法において研磨スラリー中のキャリア粒子の添加率を増加させると加工能率は減少傾向がみられるが、線形変化することなく２つの極大値を示すことに着目した。これはキャリア粒子数が増加するにしたがい、粒子一つ当たりの加工圧は減少していくが、同時に粒子と加工物の相対速度は増加することで結果として加工能率のピークが１ヵ所ではないことが確認された。本報ではこの加工のメカニズムついて述べる。