エポキシ樹脂多孔質研磨パッドの開発

抄録

著者らが開発した複合粒子研磨法において，エポキシ多孔質パッドがウレタン多孔質パッドよりも優れた加工特性を示すことが判明している．しかし，エポキシ樹脂の多孔質研磨パッドを製作する方法としては金型焼結による方法しかなく製造コストが高いという問題があった．そこで，本研究では発泡現象を用いてエポキシ多孔質研磨パッドを製作することを試みた．