低消費電力無線端末のための圧電薄膜を用いたデジタル出力加速度センサーの開発

抄録

低消費電力無線端末のためのデジタル出力圧電加速度センサーの開発を行った。並列に形成したPZT薄膜を直列に接続し、各PZT薄膜にCMOSスイッチを接続する。この構造によりスイッチがONになった個数が加速度のデジタル出力になるため、センサーの駆動電力やA/Dコンバーターが不要となる。このようなセンサーの設計、製作を行い、圧電特性の改善により提案するセンサーが実現可能であることがわかった。