PDモノリシック型マイクロ変位センサの開発

井口 宗久; 安藤 秀幸; 木下 実; 明瀬 憲由; 澤田 廉士

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.403.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: F20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.403.0

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主催: 社団法人精密工学会

PDモノリシック型マイクロ変位センサの開発

*井口宗久, 安藤秀幸, 木下実, 明瀬憲由, 澤田廉士

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キーワード: MEMS, モノリシック, フォトダイオード, 変位センサ

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抄録

フォトダイオード(PD)を二次元に複数個，モノリシックに集積したSi基板とその基板上にボンディングした面発光レーザ(VCSEL)から構成される超小型変位センサ(サイズ:1.3×1.3×1.3mm)を開発した．このセンサはPDにレーザ光をVCSELより照射し，被測定面で反射した光の強度変化を検出して，被測定面の変位や傾きを区別して測定を行う．使用用途としては被測定面の変位，二次元の傾き算出，及び表面形状の凹凸を評価することが可能である．

責任著者(Corresponding author)

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