フライカットによるガラスの延性モード切削に関する研究（第2報）

レーザ・ラマン分光顕微鏡による石英ガラスの加工面観察

抄録

フライカットでは，ガラスへの延性モード切削が旋削の数十倍の切込み量で可能となる．本研究では，超精密旋盤を用いて石英ガラスへフライカットを行い，レーザ・ラマン分光顕微鏡で加工面を観察した．その結果, 得られたラマンスペクトルは未加工の部分と加工を行った部分では異なっていた．また，紫外線レーザ（波長266nm）を加工部分に照射すると蛍光が観察された．