マイクロ溝を有する非軸対称非球面金型の超精密加工

抄録

近年，情報機器の高性能化・小型化に伴い，それらの基幹部品である光学素子に対する要求は複雑化・高精度化の一途をたどっている．本研究では，光学素子成形用の複雑形状金型加工技術の確立を目的とし，その例として一般的に加工が困難とされるマイクロ溝を有する非軸対称非球面金型の高精度な加工方法を提案する．本加工法では，マイクロ溝加工において研削および切削を複合して用いることで高い形状精度を目指している．