超精密切削工具切れ刃の3次元形状測定に関する研究 加工機上測定実験

浅井 岳見; 荒井 義和; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.455.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: G03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.455.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密切削工具切れ刃の3次元形状測定に関する研究

加工機上測定実験

*浅井岳見, 荒井義和, 高偉

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キーワード: ダイヤモンド切削工具, 原子間力顕微鏡

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抄録

ダイヤモンド切削工具は非常に鋭利な切れ刃を持っており，その切れ刃稜丸み半径はおよそ数十から数百nmである．この工具は平面だけでなく微細なパターンを持つ表面の創成に用いられている．その切れ刃形状は，ナノメートルオーダでは使用中常に変化している．今回，AFM方式の形状測定装置を作成し，このようなダイヤモンド切削工具切れ刃形状の機上での形状計測を試みたので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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