レーザトラッピングプローブを用いた長作動距離スキャニングに関する研究（第2報） 定在場中に存在するプローブ特性の評価

中井 大介; 林 照剛; 道畑 正岐; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.459.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: G06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.459.0

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主催: 社団法人精密工学会

レーザトラッピングプローブを用いた長作動距離スキャニングに関する研究（第2報）

定在場中に存在するプローブ特性の評価

*中井大介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩

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キーワード: 定在場, スキャニング測定, 長作動距離, マイクロプローブ, Nano-CMM

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抄録

我々はレーザによって大気中で三次元的に捕捉された直径数umのガラス球をプローブとして搭載したナノ三次元座標測定機(Nano-CMM)の開発を行っている．このプローブはレーザを使用しているためガラス球の透過光と測定面からの反射光が干渉して測定対象の形状に応じた定在場が形成される．そこで我々は定在場中に存在するプローブ特性を評価し定在場の分布を把握することによって長作動距離スキャニングの実現を目指す．

責任著者(Corresponding author)

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