光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究（第7報）

プローブを用いた位置検出原理

抄録

光ファイバを用いてトラッピングした微粒子を３次元座標測定機(CMM)のプローブとして利用する方法を提案する。直径が5μｍ、先端の直径は0.5μｍである テーパー型平坦光ファイバを利用して水中で直径8μｍの誘電体球をトラッピングしCMMのプローブ球として利用する。トラッピングしたプローブ球を測定対象の表面に接近、接触させそのときの信号光の変化を観察し、この信号光を利用して測定対象との接触有無を判断する原理について考察する。