レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元形状計測に関する研究（第4報）

プローブキャリブレーション法の提案

抄録

マイクロシステムの発展に伴い、ナノレベルの精度を保証する形状計測技術の向上が望まれている。本研究では、超高精度座標測定機（ナノCMM）のためのマイクロプローブを開発している。本報では、光放射圧によってコントロールされる直径8ミクロンのマイクロプローブ（レーザトラッピングプローブ）のキャリブレーション法を提案し、その有用性を確認したのでそれを報告する。