レジスト表面形状の計測（第七報）

メンブレン挙動に基づいたプローブ変位算出方法の検討

抄録

本研究では，広範囲のレジスト薄膜表面形状を高速，高精度に計測する方法として，光計測と機械的接触を組み合わせた，メカノオプトプローブによる計測手法の確立を目指している．前報では，格子状に複数配置したプローブが独立して機能する独立型マルチトポセンサの開発・機能検証を行った．本報では，プローブ変位をメンブレン挙動に基づき算出する方法を考案し，適用することで高精度な計測が可能であることを示したので報告する．