2次元直動ステージの真直度評価（第4報） 複数の参照鏡の場合

渡辺 昌和; Adisorn Sornkaew; 古谷 涼秋

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.479.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: G20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.479.0

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主催: 社団法人精密工学会

2次元直動ステージの真直度評価（第4報）

複数の参照鏡の場合

*渡辺昌和, Adisorn Sornkaew, 古谷涼秋

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キーワード: 真直度, 2次元ステージ, 校正

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抄録

2次元ステージの位置測定では移動軸と鏡の形状誤差が生じる．この二つの誤差の分離を行う際，マルチプローブメソッドではゼロ点誤差が生じる．そこで2軸のレーザ干渉計を用いてゼロ点誤差の生じない手法を提案した．本報では，連続な一枚の参照鏡ではなく，小さな鏡を並べて参照鏡を構成した場合を考える．この場合，参照鏡の形状は接続部で不連続である．本報では，表面形状を不連続な鏡面について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)