表面性状測定機における表面波長に対する応答特性の一考察

抄録

近年、様々な表面性状測定機が提案されているが、測定方式により得られる結果が異なるのが実状である。本報告ではこのような差異を与える原因について考察するために、共焦点画像式、白色干渉式、ポイントフォーカス式、触針式といった測定原理の異なる測定機について様々な表面波長を有する凹凸サンプルの測定を行い、表面波長ごとに凹凸の振幅応答特性を比較した。