小不確かさ標準尺測定機の開発（第３報）

目盛線信号処理アルゴリズムの検討

抄録

標準尺は光学測定機を校正するための実用的な長さ標準として広く使用されている。著者らは標準尺の目盛線間隔を校正するための測長装置を開発した。本装置は目盛線の検出に光学顕微鏡を用い、顕微鏡の像面に配置した固定スリットを通過する光の強度信号を処理して目盛線位置を計測している。本報告では測長装置を紹介した後、目盛線異常に起因する計測不確かさの悪化を抑える信号処理アルゴリズムに関して検討を行なう。