レーザーを利用した工具・工作物間の接触位置検出システムの開発

抄録

ガラスのマイクロエンドミル加工や超精密加工において，加工開始位置を高精度に決定する工程は，作業者の技術・技能に依存するところが多く時間が掛かり，自動化が求められている．本研究では，ガラスのマイクロ加工における，レーザーによる工具・工作物間の接触検出法を提案し，これを応用した自動位置決めシステムを開発した．実験によりサブマイクロオーダーの工具先端の位置決めが可能なことを確認した．