ガラスの微細加工における切削状態モニタリング技術の開発

抄録

ガラスの微細切削加工では、良好な切削面を得るため、1刃あたりの切込量を微小にした延性モード切削を行う必要がある。本研究では、レーザ光の全反射と屈折の原理を利用して、切削点近傍で散乱する光量を検知することにより、切削状態を判別する手法を提案した。本手法により、送り速度が高くなることで延性から脆性モード切削に変化する様子をモニタリングすることができた。