マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛

前田 全啓; 岩附 信行; 森川 広一

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.637.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: I22

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.637.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛

*前田全啓, 岩附信行, 森川広一

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キーワード: 圧電アクチュエータ, マイクロ繊毛アクチュエータ, アクチュエータ群, 静電植毛, はんだづけ

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抄録

パイプモルフアクチュエータからなるマイクロ繊毛アクチュエータ群の同時大量生産を可能にするために，部分ニッケルめっきをほどこした純チタン細線に水熱合成法により表面にＰＺＴ圧電セラミクス薄膜を形成したマイクロ繊毛アクチュエータの静電植毛はんだ接合を試みた．部分ニッケルめっきの高密度化，はんだのぬれ性の改善およびクリームはんだスポットの作成に基づき，アクチュエータ群の試作実験を行った．

責任著者(Corresponding author)

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