マイクロアクチュエータへの展開を目的としたFe-Co-2Vの磁歪特性の計測

抄録

我々は磁歪効果を利用したマイクロアクチュエータの研究・開発に取り組んでいる．現在注目しているパーメンジュールは等方性磁歪，低電圧駆動，機械加工性といった特徴を有し，小型アクチュエータ化には魅力的な材料であると考えられる．本研究では将来的に等方性磁歪を生かし，多次元マイクロアクチュエータの開発を目標に掲げている．今回はパーメンジュールを小型リングの形状に切り出した後，磁気・磁歪特性を測定し評価した．